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領域專長資訊
半導體製程原理
注意
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施行學期:113-1 主責單位:化學工程學系
基本資訊
主責教師
姓名
徐振哲
email
chsu@ntu.edu.tw
聯絡窗口
姓名
曾素華
email
tsengsh@ntu.edu.tw
學習目標
1) 目標一:對與半導體製程相關之核心化工原理(質能平衡、反應工程與熱質傳)有基礎認識<br>2) 目標二:了解提供IC製作之關鍵製程<br>3) 目標三:了解化工原理在半導體製程的重要性及關鍵應用
課程架構
修課指引
說明總整課程的形式以及總整課程最後產出的成果:<br> 總整課程類型: 專題研究  專案實作  學士論文  實習 V 其他 _半導體製程整體介紹並闡述其與化工原理之關聯<br><br> 總整課程產出成果:本領域專長將藉總整課程 半導體製程概論 來讓學生具體了解化<br> 工原理在半導體製程的重要性及關鍵應用。此課程將完整介紹半導體重要製程,並利<br> 用課程評量、課程個人或小組報告等方式,來檢視學生是否了解化工原理在半導體製<br> 程的重要性,及其相關關鍵應用。<br><br> 說明基礎、理論、方法課程,如何支撐總整課程:模組包含介紹基礎化工原理之質能平衡課程、與熱力學與動力學(物理化學一)與熱質傳等進階化工原理, 引導同學習得與半導體相關之化工原理,並以總整性課程對半導體製程原理做一全面性的介紹, 以期同學能具體了解化工原理在半導體製程的關鍵地位
課程資訊 修習課程說明
編號
課程識別碼
課程名稱
學分數
1
504 10600
質能平衡
3.00
2
504 26110
物理化學一
3.00
3
504 32140
熱質量傳遞
3.00
4
524 U0280
半導體製程概論
3.00
備註